CERAMIC HEATING ELEMENTS | 
HOT PLATES 
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Description
실리콘나이트라이드로 만들어진 세라믹핫플레이트는 외경 300mm까지로 만들어 집니다. 300mm내에서 어떤 직사각형, 주문제작형태 또는 구멍이 가능합니다. 플레이트의 주요 높이는 5mm입니다. 세라믹 물질의 훌륭한 열전도와 낮은 열용량 덕분에 빠른 가열속도, 균일한 온도분포 및 높은 제어 정확도가 가능합니다. 금속표면에 비해 세라믹재료는 빠른 온도변화가 있을지라도 낮은 열팽창에 덕분에 평평함을 유지합니다. 핫프레스된 실리콘나이트라이드의 높은 강도가 짧은 공정시간에서 고스트레스저항성과 뛰어난 내마모성을 보증합니다. 공기에서 500 C° 까지 사용하는 핫플레이트를 공급하고 있으며 1000 C° 가 필요한 경우는 옵션으로 제작가능합니다. 그러나 900 °C 이상에서 지속적으로 동작시 2500시간의 제한된 사용수명이 예상이 됩니다. 반면 1000 °C 진공에서 동작은 마모손상은 매우 적습니다.
Ceramic hot plates made of silicon nitride can be produced with an outer diameter of 300 mm.
Within this diameter any rectangular shape, customized shape or opening is possible. A typical height of the plates is 5 mm. The special properties and low mass of the ceramic material allow fast heating rates, uniform temperature distribution and outstanding precision in control. In comparison to metal the surface of ceramic material stays flat due to its low thermal expansion even when operated with fast changes in temperature. The high strength of hot-pressed silicon nitride guarantees high stress resistance (e.g. with high pressure loads) and excellent wear resistance. We provide hot plates for operating in the open air at temperatures up to 500 °C. Temperatures up to 1000 °C could be achieved by developing specific technical solutions. However with continuous operation at temperatures > 900 °C a limited service life of 2500 operating hours is to be expected, whereas with operation under high vacuum even at 1000 °C the wear and tear is very low.
Customized design
Bach RC사 자체 설계로 크기, 형상 또는 성능등에 대한 변경이 간단하고 편리하게 가능해집니다. 온도센서용 마운팅브라켓구멍이 추가 될 수 있으며 레이저절단 진공 홈 역시 추가될 수 있습니다. 평판히터는 기본적으로 평판으로 연마하지만 특별한 요청에 따라 flatness < 10 μm로 추가 가공이 될 수 있습니다. 제품의 윤곽 또는 가열되어지는 공구에 따라 형성되는 다양한 모양이 가능합니다. 더구나 세라믹 발열체(도체)는 주문제작이 가능하며 몇 개의 히팅존으로 설계될 수 있습니다. 열손실을 보상하기 위한 장치 및 온도 측정을 위한 내부 테스트선도 쉽게 설치될 수 있습니다. 고 진공에서 1000 °C까지 동작을 하기 위해 핀컨택이 제공될 수 있습니다.
Our in-house designs make any modification in size, configuration, or performance simple and convenient. Mounting-bracket holes and bores for temperature sensors can be added to the design. Laser-cut vacuum grooves can be added as well. Our hot plates come already flat ground, however they can be ground further up to a flatness of < 10 μm to meet specific requirements. A variety of shapes formed to the contour of the product or tool to be heated are possible as well. Furthermore, our ceramic heating conductor with its customized design allows the integration of several heating zones. Devices to compensate for heat loss and an internal test lead for temperature measurement can be easily built in. For operating in high vacuum at up to 1000 °C a pin contact can be supplied.
응용분야 장점
ㆍ반도체 공정장비(예:다이본더) ㆍ핫플레이트의 우수한 온도균일도와 평판성(Flatness)
ㆍ코팅장치, 증착장비 ㆍ고기계적강도는 압력과 온도 사이클링에서도 장수명을
ㆍ납땜장치 보증 합니다.
ㆍ진공기술 ㆍ핫플레이트는 주문제작 가능 및 요구사항에 정확히 대응
ㆍ포장기계 합니다.
ㆍ플라스틱 기술 ㆍ핫플레이트는 공기, 진공 또는 불활성가스 분위기에서
ㆍ의료기술 1000°C까지 사용가능합니다.
ㆍ기계제작
ㆍ프레스
ㆍR&D – 개발장비, 측정장비, 반응기
ㆍ공구가열
