CERAMIC HEATING ELEMENTS | 
HOT PLATES 
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Description
실리콘나이트라이드로 만들어진 세라믹핫플레이트는 외경 300mm까지로 만들어 집니다. 300mm내에서 어떤 직사각형, 주문제작형태 또는 구멍이 가능합니다. 플레이트의 주요 높이는 5mm입니다. 세라믹 물질의 훌륭한 열전도와 낮은 열용량 덕분에 빠른 가열속도, 균일한 온도분포 및 높은 제어 정확도가 가능합니다. 금속표면에 비해 세라믹재료는 빠른 온도변화가 있을지라도 낮은 열팽창에 덕분에 평평함을 유지합니다. 핫프레스된 실리콘나이트라이드의 높은 강도가 짧은 공정시간에서 고스트레스저항성과 뛰어난 내마모성을 보증합니다. 공기에서 500 C° 까지 사용하는 핫플레이트를 공급하고 있으며 1000 C° 가 필요한 경우는 옵션으로 제작가능합니다. 그러나 900 °C 이상에서 지속적으로 동작시 2500시간의 제한된 사용수명이 예상이 됩니다. 반면 1000 °C 진공에서 동작은 마모손상은 매우 적습니다.
Customized design
Bach RC사 자체 설계로 크기, 형상 또는 성능등에 대한 변경이 간단하고 편리하게 가능해집니다. 온도센서용 마운팅브라켓구멍이 추가 될 수 있으며 레이저절단 진공 홈 역시 추가될 수 있습니다. 평판히터는 기본적으로 평판으로 연마하지만 특별한 요청에 따라 flatness < 10 μm로 추가 가공이 될 수 있습니다. 제품의 윤곽 또는 가열되어지는 공구에 따라 형성되는 다양한 모양이 가능합니다. 더구나 세라믹 발열체(도체)는 주문제작이 가능하며 몇 개의 히팅존으로 설계될 수 있습니다. 열손실을 보상하기 위한 장치 및 온도 측정을 위한 내부 테스트선도 쉽게 설치될 수 있습니다. 고 진공에서 1000 °C까지 동작을 하기 위해 핀컨택이 제공될 수 있습니다.
응용분야 장점
ㆍ반도체 공정장비(예:다이본더) ㆍ핫플레이트의 우수한 온도균일도와 평판성(Flatness)
ㆍ코팅장치, 증착장비 ㆍ고기계적강도는 압력과 온도 사이클링에서도 장수명을
ㆍ납땜장치 보증 합니다.
ㆍ진공기술 ㆍ핫플레이트는 주문제작 가능 및 요구사항에 정확히 대응
ㆍ포장기계 합니다.
ㆍ플라스틱 기술 ㆍ핫플레이트는 공기, 진공 또는 불활성가스 분위기에서
ㆍ의료기술 1000°C까지 사용가능합니다.
ㆍ기계제작
ㆍ프레스
ㆍR&D – 개발장비, 측정장비, 반응기
ㆍ공구가열
